目的 | 低濃度から高濃度までの無機元素分析 |
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特徴 | 固体試料も溶解して液体試料として分析が可能 |
用途 |
・無機元素の定性/定量分析 ・液体/固体試料の多元素定性分析 ・ターゲット材料中元素の成分分析 ・微量元素の分析 |
原理 | 高周波誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma)を生成し、その中に液体試料を霧化して導入し、試料中の元素がフリーの原子まで分解されます。さらにその原子を励起状態にさせ発生される光を計測します。その光を波長から定性分析、強度から定量分析を行います。 |