スパッタリングターゲットについて｜ターゲット材料なら【有限会社ケミストン】

私たちの身の回りにあるスマートフォンやテレビなどのディスプレイおよびタッチパネル、太陽電池、DVDなどの記録メディアなどの製品にはそれぞれの特性を持った薄膜が使われています。
その薄膜はスパッタ(スパッタリング)という技術により成膜され、成膜された材料のことをスパッタリングターゲットといいます。

スパッタリングターゲットは、情報社会の発展に欠かせない製品のうちのひとつと言えます。

スパッタリングとは、Ar（アルゴン）等の不活性ガスで満たされた真空中でターゲット材料に高電圧をかけ放電することでアルゴンが原子化し、ターゲットの表面に衝突させてターゲットの原子が叩き出され、基板に付着しミクロン単位の薄膜を形成する技術です。

高融点金属や合金など、真空蒸着法では困難な材料でも成膜が可能で、広範囲の成膜材料に対応できるメリットがあります。