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  • クオーツ
  • スパッタ安定
  • ルチル
  • 低抵抗品
  • 低温密着性大
  • 均質焼結体
  • 微細組織品
  • 真空溶解品
  • 純度安定
  • 組成のバラツキ小
  • 結晶粒を細粒化
  • 絶妙な配合
  • 高密度品
  • Ru(ルテニウム)

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:150mm

    用途: 電極材料

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  • Tiw

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 下地材料

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  • 多結晶シリコン(ポリクリスタル)

    純度:5N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ10、10x10mm

    分割になる境界サイズ:200mm

    用途: 太陽電池

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  • Si-Bドープ

    純度:5N以上

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ10、10x10mm

    分割になる境界サイズ:300mm

    用途: タッチパネル

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  • ノンドープ

    純度:5N以上

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: BLディスク

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  • TiSi

    純度:4N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: バッファ層

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  • MoSi

    純度:4N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: バッファ層

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  • WSi

    純度:4N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: バッファ層

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  • Al-Si-Ti

    純度:5N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 電極材料

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  • Al-Si-Cu

    純度:5N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ10、10x10mm

    分割になる境界サイズ:450mm

    用途: 電極材料

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  • Al-Cu

    純度:5N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ10、10x10mm

    分割になる境界サイズ:450mm

    用途: 電極材料

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  • Al-Cu

    純度:5N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:

    分割になる境界サイズ:

    用途: 電極材料

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  • Al-Si

    純度:5N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:

    分割になる境界サイズ:

    用途: 電極材料

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  • Co-Si

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 電極材料・配線

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  • Y(イットリウム)

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 光学ガラス

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  • Dy(ジスプロシウム)

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 超磁歪材

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  • Tb(テルビウム)

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 蛍光体(緑)

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  • Gd(ガドリニウム)

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 光学ガラス

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  • Sm(サマリウム)

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ10、10x10mm

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 磁石

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  • Nd(ネオジム)

    純度:3N

    加工可能サイズ※ご要望によりどのような形状でも加工可能です

    加工可能最小サイズ:Φ50

    分割になる境界サイズ:127mm

    用途: 磁石

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  • 納品までの流れ
  • ケミストンの強み
  • スパッタリングターゲットについて